半導體製程概論

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圖書描述

本書清楚解釋從晶體成長到形成積體元件與電路的製造過程中,所有主要步驟的理論與實作層麵的重點。各章穿插附有題解的範例,及學習目標與重要觀念的總結,並附習題為讀後作業。適閤作為物理、化學、電機工程、化學工程和材料科學等係所之大四或碩一階段之教材。亦可配閤學校實驗室進行相關實作教學,及做為半導體産業界工程師與科學傢的參考資料

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圖書目錄

圖書序言

圖書試讀

用户评价

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哇,這本《半導體製程概論》簡直是讓我這個在竹科附近長大的孩子,對我們傢鄉的驕傲有瞭更深一層的認識!以前隻知道爸媽在做「晶圓」,聽起來很神秘,也聽他們偶爾抱怨製程有多難搞。這本書就像一把鑰匙,打開瞭我對這個產業的無知之門。書裡麵的介紹,雖然有些專業術語一開始會讓我霧煞煞,像是「黃光微影」到底在黃什麼?「蝕刻」又是怎麼把多餘的東西「吃掉」?但作者很用心,用瞭很多比喻,像是把製程比喻成蓋房子,從地基(晶圓基闆)開始,一層一層加上不同的材料(薄膜沉積),然後再精準地「畫」上線路(黃光微影),最後再把不需要的地方「移除」(蝕刻)。這種循序漸進的講解,讓即使是沒有任何背景知識的我,也能慢慢理解整個流程的邏輯。特別是看到介紹到颱灣在這些製程技術上的領先地位,我真的覺得颱灣人太厲害瞭!書中也提到瞭很多影響製程效率和良率的關鍵因素,例如「潔淨室」的等級要求有多嚴苛,任何一點灰塵都可能毀掉一顆昂貴的晶片,這讓我想到以前迴傢,爸媽總是叮嚀我們迴傢要先洗手,現在纔明白那背後的意義有多重大。總體來說,這本書不僅是一本技術書籍,更像是一本颱灣半導體產業的「圖鑑」,讓我們這些在地人也能驕傲地跟外國朋友介紹,我們不隻「會」做晶片,更是「懂」做晶片!

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身為一個對科技產業一直抱有高度好奇心,但又苦於沒有科班背景的求職者,我抱持著「姑且一試」的心情入手瞭《半導體製程概論》。老實說,我預期會看到一堆難懂的圖錶和密密麻麻的公式,大概隻能硬背下來然後期待麵試時能碰上「熟」的題目。然而,這本書帶給我的驚喜是,它竟然能夠讓我在睡前閱讀,而不至於精神亢奮到失眠!作者的文筆非常流暢,彷彿在跟一位經驗豐富的長輩聊天,分享他在這個精密產業中的見聞。他巧妙地將複雜的物理化學原理,轉化為大傢都能理解的日常概念。例如,在解釋「離子佈植」時,他會用「像是在地闆上噴灑鹽巴」來比喻,讓那個微觀世界的「原子」移動過程變得生動起來。書中對於不同製程步驟的優缺點比較,以及它們之間如何相互影響,也寫得相當到位。我特別喜歡它在討論「良率」時的切入角度,不是單純的數據呈現,而是探討瞭哪些製程環節容易齣錯,以及工程師們如何透過不斷的實驗和優化來剋服這些挑戰。這讓我理解到,半導體製程不隻是一連串的SOP,更是一門充滿智慧與挑戰的藝術。讀完這本書,我對半導體產業有瞭更宏觀的認識,也更清楚瞭這個產業背後所蘊含的科學精神與創新活力。

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我是一名從事半導體相關產業的基層技術員,每天的工作內容就是操作機颱、監控參數,但對於整個製程的「為什麼」卻感到一知半解。這本《半導體製程概論》就像及時雨,解答瞭我心中許多長久以來的疑問。《論》的優點在於,它不隻是紙上談兵,而是貼近實際生產的考量。例如,在介紹「蝕刻」製程時,作者不僅講解瞭乾蝕刻和濕蝕刻的原理,更提到瞭製程中會遇到的「蝕刻選擇性」、「均勻性」、「異方性」等問題,以及這些參數的控製對最終產品的影響。這正是我每天在機颱旁會遇到的挑戰!書中對於「化學機械研磨(CMP)」的介紹,更是讓我恍然大悟,原來我們每天看似重複的打磨動作,背後有如此複雜的化學與機械協同作用,而且精準度要求如此之高。我特別喜歡作者在討論「新一代製程技術」時,所展現齣的前瞻性。他不僅介紹瞭現有的技術,還大膽預測瞭未來可能遇到的瓶頸與發展方嚮,這讓我感覺自己不再隻是單純的執行者,而是能對整個產業鏈的發展有更深刻的理解。讀完這本書,我對自己的工作多瞭一份使命感,也更加珍惜自己在這個重要產業中的角色。

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作為一個在電子工程領域摸索多年的學生,我一直在尋找一本能夠係統性地釐清半導體製程細節的書籍,《半導體製程概論》確實滿足瞭我的需求,甚至超齣瞭我的預期。本書在結構上的安排非常清晰,從最基礎的晶圓製造,到各個關鍵的製程模組,如薄膜沉積、光刻、蝕刻、離子佈植、化學機械研磨(CMP)等,都進行瞭詳盡且有層次的闡述。我尤其欣賞作者對於「薄膜沉積」技術的深入探討,不僅介紹瞭CVD、PVD等常見方法,還能追溯到它們的物理化學原理,並解釋瞭不同氣體、溫度、壓力條件如何影響薄膜的特性,這對於我們日後在實驗室進行相關研究非常有啟發。書中對於「光刻」的講解,更是將其複雜性層層剝離,從光源、光阻劑、掩膜版,到曝光、顯影,每一個環節都扣人心弦,讓我深刻體會到「奈米級」的精準度是如何達成的。書末對於「製程整閤」與「良率控製」的討論,更是將這些看似獨立的步驟串聯起來,強調瞭係統性思維的重要性。儘管其中有些內容對初學者而言可能稍有難度,但其附帶的圖例和示意圖,輔以作者清晰的邏輯,足以引導讀者逐步深入。對於想在半導體領域深耕的學生而言,這絕對是一本值得反覆研讀的工具書。

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說實話,我原本對《半導體製程概論》這類型的書並不太感興趣,覺得它離我的生活太遙遠瞭,無非就是一堆專業術語和技術細節。《半導體製程概論》卻齣乎意料地引人入勝,讓我開始對這個「看不見的」精密產業產生瞭濃厚的興趣。作者以一種非常生動有趣的方式,描繪瞭半導體製程的每一個環節。他沒有過多地使用艱澀的學術詞彙,而是善於用類比和故事來闡述複雜的概念。例如,他將「晶圓」比喻成「建築物的地基」,而製程中的各種「疊加」和「蝕刻」則像是「建造樓層、設計房間」的過程。這種描述方式,即使是對科學原理毫無概念的人,也能輕鬆理解。書中對於「製程中的汙染控製」的篇幅,尤其讓我印象深刻。他描寫瞭無塵室的嚴格要求,以及微小的塵埃如何可能毀滅整個晶圓,這種「吹毛求疵」的工匠精神,著實令人敬佩。此外,書中還探討瞭不同製程技術的歷史演變,以及它們是如何一步步推動瞭資訊科技的發展,讓我從一個全新的角度認識到,我們日常生活中使用的各種電子產品,背後竟然有如此複雜且精密的製造過程。這本書的價值,在於它不僅傳授瞭知識,更點燃瞭讀者對科學與工程的想像力。

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