微感測係統與應用

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劉會聰
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圖書描述

  微係統是一門融閤機、電、光、磁、生、化等多個交叉尖端學科的領域,具有微型化、集成化、智慧化、低成本、高性能、可批量化等優點,已經並將繼續在生物醫療、能源環境、汽車電子、消費電子、無線通訊、軍事國防、航空航天等領域產生深遠影響。
 
  本書以微係統中最具代錶性的微感測係統為核心,結閤當前的無線通訊以及物聯網技術、能源收集技術、柔性電子技術等新興尖端科技,對廣義微感測係統的相關技術進行瞭全麵係統介紹,包括微係統加工技術、矽基微感測技術、非矽基微感測技術、自供電微感測與微能源技術。同時也介紹瞭微感測係統在智慧工業、智慧農業、生物醫療、軍事、航空航天等各個應用領域中所發揮的重要作用。
好的,這是一本關於超大規模集成電路(VLSI)設計與製造的專業書籍的詳細簡介,內容完全聚焦於該主題,與您提到的“微感測係統與應用”無關。 --- 書名:《超大規模集成電路設計、製造與新興工藝》 書籍定位與目標讀者: 本書是一部深度聚焦於現代半導體技術核心——超大規模集成電路(VLSI)——從概念設計到物理實現全流程的權威性著作。它不僅涵蓋瞭傳統CMOS電路設計與驗證的基石,更深入探討瞭麵嚮未來高性能計算、低功耗邊緣設備及先進封裝技術所需的前沿知識體係。 本書的目標讀者群涵蓋瞭電子工程、微電子學、計算機工程專業的高年級本科生、研究生,以及在半導體行業(IC設計、工藝集成、設備製造、封裝測試)工作的工程師和研究人員。對於希望係統性建立起對現代集成電路産業化流程有深刻理解的專業人士,本書提供瞭不可或缺的理論深度和工程實踐指導。 核心內容模塊解析: 本書內容組織遵循集成電路設計實現(EDA Flow)的邏輯順序,劃分為七大部分,共二十五章。 第一部分:半導體器件物理與基礎模型(Foundation & Device Physics) 本部分為後續所有設計活動奠定物理基礎。 第1章:MOSFET 器件物理與工作原理進階: 詳細分析瞭短溝道效應、載流子輸運機製(漂移與擴散)、亞閾值區行為的精確建模。重點討論瞭FinFET結構相對於平麵CMOS在靜電控製上的革命性優勢,及其在納米尺度下的載流子行為差異。 第2章:先進半導體材料與互連綫技術: 探討瞭高遷移率矽鍺(SiGe)和III-V族材料在CMOS晶體管中的潛在應用,以及先進金屬柵極(Metal Gate, MG)和高介電常數(High-k)柵介質的集成技術。同時,深入講解瞭銅互連綫技術中的電遷移(Electromigration, EM)問題及其對可靠性的影響。 第3章:工藝窗口與器件參數提取: 闡述瞭半導體製造過程(如光刻、刻蝕、薄膜沉積)對最終器件參數(如閾值電壓Vt、跨導gm)的統計學影響,介紹瞭基於SPICE模型的器件參數提取流程和公差分析方法。 第二部分:數字集成電路設計(Digital IC Design Methodology) 這是本書的重點之一,詳述瞭現代數字電路的架構、設計與優化。 第4章:靜態時序分析(Static Timing Analysis, STA)的原理與實踐: 不僅覆蓋瞭建立時間(Setup Time)和保持時間(Hold Time)的基本概念,更深入剖析瞭時鍾域交叉(CDC)、異步邏輯設計、以及在多電壓/多頻率設計中的時序約束設置和簽核流程。 第5章:低功耗設計技術(Low Power Design): 聚焦於實際工程中的功耗削減策略。詳細介紹瞭多電壓域(Multi-Voltage Domains, MVD)、電源門控(Power Gating,含隔離單元Isolation Cell和級聯緩衝器Level Shifter的正確使用)、時鍾樹綜閤(CTS)中的時鍾門控(Clock Gating)技術的實現細節。 第6章:時鍾樹綜閤(Clock Tree Synthesis, CTS)與信號完整性: 探討瞭如何構建具有最小偏斜(Skew)和最小峰度(Peak)的時鍾網絡。分析瞭導綫寄生電容、電感對時鍾信號質量的影響,並介紹瞭用於緩衝器放置和尺寸調整的算法。 第7章:可測試性設計(Design for Testability, DFT): 全麵覆蓋瞭DFT技術,包括掃描鏈(Scan Chain)的插入與優化、自動測試圖形生成(ATPG)的原理,以及用於捕捉瞬時故障的內置自測試(Built-In Self-Test, BIST)架構(如存儲器BIST和邏輯BIST)。 第三部分:模擬與混閤信號集成電路(Analog and Mixed-Signal IC) 本部分關注對精度、噪聲和帶寬敏感的電路設計。 第8章:運算放大器(Op-Amp)的設計與優化: 涵蓋瞭摺疊式、共源共柵式等拓撲結構的頻率補償、相位裕度(PM)和增益帶寬積(GBW)的計算,以及失調電壓(Offset Voltage)的抑製技術。 第9章:數據轉換器(ADC/DAC)架構: 深入解析瞭流水綫(Pipeline)、Sigma-Delta(ΣΔ)和逐次逼近寄存器(SAR)型模數轉換器的設計權衡。重點討論瞭量化噪聲塑形(Noise Shaping)和電路匹配對最終分辨率(ENOB)的限製。 第10章:噪聲分析與屏蔽技術: 講解瞭熱噪聲、閃爍噪聲(1/f Noise)的來源和建模,以及在CMOS工藝中實現低噪聲放大器(LNA)的關鍵布局技巧(如星形接地、Guard Ring的應用)。 第四部分:物理設計與版圖實現(Physical Design and Layout) 將邏輯網錶轉化為可製造的物理版圖。 第11章:布局規劃(Floorplanning)與電源網絡設計: 詳細介紹瞭模塊級和係統級的布局規劃策略,包括I/O規劃、電源軌(Power Rail)和地軌(Ground Rail)的寬度計算,以及電遷移約束下的電源分配網絡(PDN)設計。 第12章:標準單元布局與布綫優化: 探討瞭擁塞度分析、門級布局(Gate Placement)的優化目標(如最小綫長、最小時序違例),以及多層金屬布綫中的最小間距規則(DRC)和抗天綫效應(Antenna Effect)的實施。 第13章:版圖寄生參數提取與後仿真: 介紹瞭從版圖中提取的寄生電阻(R)和電容(C)的工具和方法,以及RC延遲對時序簽核的最終影響。 第五部分:先進製造工藝與良率(Advanced Fabrication and Yield) 本書緊密結閤當前半導體的製造前沿。 第14章:極紫外光刻(EUV Lithography)技術: 深入分析瞭EUV技術在解決亞10nm節點工藝挑戰中的核心作用,包括掩模版的缺陷控製和光刻膠(Photoresist)的性能要求。 第15章:先進封裝與異構集成(Advanced Packaging): 探討瞭芯片堆疊技術(3D IC)、矽中介層(Silicon Interposer)、以及扇齣型晶圓級封裝(Fan-Out Wafer-Level Packaging, FOWLP)如何突破傳統摩爾定律的限製,實現係統級性能提升。 第六部分:可靠性與設計驗證(Reliability and Verification) 確保芯片在長期工作中的穩定性和設計的正確性。 第16章:工藝、電壓與溫度(PVT)變化下的設計魯棒性: 討論瞭工藝角(Corners)分析的重要性,以及如何通過寬裕的邊際設計來應對製造波動。 第17章:電遷移與自熱效應(Self-Heating Effect): 詳細分析瞭在現代高密度互連中,電流密度過大導緻的金屬綫壽命縮短問題,以及集成電路的散熱設計對芯片性能穩定性的影響。 第18章:形式化驗證與等價性檢查: 介紹如何使用數學方法驗證設計,而非完全依賴隨機仿真的覆蓋率。 第七部分:新興計算架構中的VLSI實現(VLSI for Emerging Architectures) 本書關注VLSI技術在特定領域的新應用。 第19章:麵嚮AI加速器的VLSI架構: 分析瞭捲積神經網絡(CNN)加速器中的脈動陣列(Systolic Array)的結構設計,以及如何優化片上存儲器和數據流以最大化吞吐量和能效比。 第20章:高能效的內存技術接口設計: 探討瞭HBM(High Bandwidth Memory)和LPDDR等高速接口的物理層設計挑戰、阻抗匹配和均衡技術。 全書特色: 本書最大的特色在於其“深度集成”的視角。它不是割裂地介紹設計和工藝,而是貫穿始終地強調設計與製造的相互影響(Design-Technology Co-Optimization, DTCO)。書中大量穿插瞭源自前沿晶圓代工廠的實際設計規則(Design Rule)案例和最新的EDA工具流程實例,確保理論與工業實踐的緊密結閤。豐富的圖錶、公式推導和工程案例,使讀者能夠紮實掌握從晶體管特性到係統級性能優化的完整知識鏈條。

著者信息

圖書目錄

第1章微感測係統概述
1.1微係統概述
1.1.1微係統的概念
1.1.2微係統的基本特點
1.2微感測係統的概念
1.2.1微感測器
1.2.2集成微感測器
1.2.3微感測器係統
1.2.4微感測係統的主要特點
1.3微感測係統的基本特性
1.3.1微感測器的靜態特性
1.3.2微感測器的動態特性
1.3.3微感測器的分類
1.4微感測係統的常用材料
1.4.1單晶矽與多晶矽
1.4.2氧化矽和氮化矽
1.4.3半導體敏感材料
1.4.4陶瓷敏感材料
1.4.5高分子敏感材料
1.4.6機敏材料
1.4.7奈米材料
1.5微感測係統的產業現狀與發展趨勢
1.5.1產業現狀
1.5.2發展趨勢
參考文獻
 
第2章微係統製造技術
2.1微製造概述
2.2矽基MEMS 加工技術
2.2.1體微機械加工技術
2.2.2錶麵微機械加工技術
2.2.3小結
2.3聚閤物MEMS 加工技術
2.3.1SU-8
2.3.2聚酰亞胺(PI) 
2.3.3Parylene C
2.4特種微加工技術
2.4.1電火花微加工技術
2.4.2雷射束微加工技術
2.4.3電化學微加工技術
2.5封裝與集成技術
2.5.1引線鍵閤技術
2.5.2倒裝芯片技術
2.5.3多芯片封裝技術
2.5.43D 封裝技術
參考文獻
 
第3章矽基微感測技術與應用
3.1矽基壓阻式感測器
3.1.1矽基壓阻式感測器原理
3.1.2典型的矽基壓阻式感測器
3.2矽基電容式感測器
3.2.1電容式感測器原理
3.2.2典型的矽基電容式感測器
3.3矽基壓電式感測器
3.3.1壓電式感測器原理
3.3.2MEMS 壓電觸覺感測器
3.3.3MEMS 電流感測器
3.3.4MEMS 聲學感測器
3.3.5MEMS 力磁感測器
3.3.6MEMS 病毒檢測感測器
參考文獻
 
第4章非矽基柔性感測技術
4.1柔性感測器的特點和常用材料
4.1.1柔性感測器的特點
4.1.2柔性基底材料
4.1.3金屬導電材料
4.1.4碳基奈米材料
4.1.5奈米功能材料
4.1.6導電聚閤物材料
4.2非矽基柔性觸覺感測器
4.2.1柔性觸覺感測原理
4.2.2柔性觸覺感測器發展趨勢
4.3生理訊號感測技術
4.3.1柔性溫度感測
4.3.2柔性心率感測
4.3.3柔性血壓感測
4.3.4生物感測器
4.3.5關鍵技術挑戰
4.4非矽基柔性感測技術應用舉例
參考文獻
 
第5章自供能微感測係統
5.1自供能微感測係統與能量收集技術
5.1.1自供能微感測係統概述
5.1.2能量收集技術
5.2振動能量收集技術
5.2.1壓電式振動能量收集技術
5.2.2電磁式振動能量收集技術
5.2.3靜電式振動能量收集技術
5.2.4摩擦電式振動能量收集技術
5.3風能收集技術 
5.3.1鏇轉式風能收集技術
5.3.2顫振式風能收集技術
5.3.3渦激振動式風能收集技術
5.3.4共振腔式風能收集技術
5.4自供電微感測係統應用舉例
參考文獻
 
第6章新興微感測係統應用展望
6.1新興功能材料在微納感測係統的應用展望
6.1.1金屬功能材料
6.1.2非金屬功能材料
6.1.3有機高分子材料
6.1.4量子點
6.2新興微感測係統在智慧工農業領域的應用
6.2.1新興微感測係統在智慧工業物聯網領域的應用
6.2.2新興微感測係統在智慧農業領域的應用
6.3新興微感測係統在生物醫療領域的應用展望
6.3.1可穿戴醫療設備
6.3.2植入式醫療設備
參考文獻

圖書序言

  • ISBN:9786263321670
  • 規格:平裝 / 232頁 / 17 x 23 x 1.16 cm / 普通級 / 單色印刷 / 初版
  • 齣版地:颱灣

圖書試讀

 
  微係統是一門融閤機、電、光、磁、生、化等多個交叉尖端學科的領域,具有微型化、集成化、智慧化、低成本、高性能、可批量化等優點,已經並將繼續在生物醫療、能源環境、汽車電子、消費電子、無線通訊、軍事國防、航空航天等領域產生深遠影響。
 
  本書以微係統中最具代錶性的微感測係統為核心,結閤當前的無線通訊以及物聯網技術、能源收集技術、柔性電子技術等新興尖端科技,對廣義微感測係統的相關技術進行瞭全麵係統介紹,包括微係統加工技術、矽基微感測技術、非矽基微感測技術、自供電微感測與微能源技術。同時也介紹瞭微感測係統在智慧工業、智慧農業、生物醫療、軍事、航空航天等各個應用領域中所發揮的重要作用。本書以微感測係統的主要技術為主,結閤代錶性應用案例進行編寫,共分為6章。第1章微感測係統概述。主要介紹微感測係統的基本概念、靜態動態特性、分類、材料特性以及發展趨勢。
第2章微係統製造技術。主要介紹典型的矽基、非矽基的MEMS製造工藝,以及特種微加工方法、封裝與集成。
 
  第3章矽基微感測技術與應用。主要介紹常用的矽基壓阻式、電容式、壓電式微感測係統設計、製造方法及典型案例。
 
  第4章非矽基柔性感測技術。主要介紹非矽基柔性感測器的主要特點和常見材料,介紹瞭典型柔性觸覺感測器的基本原理和發展趨勢,生物訊號的感知測量原理及關鍵技術問題,並闡述瞭非矽基柔性感測器在機器人、醫療健康和虛擬現實領域的應用。
第5章自供能微感測係統。主要介紹瞭自供能微感測係統的概念以及關鍵技術,主要包括壓電式、電磁式、靜電式、摩擦電式振動能量收集技術和風能收集技術,最後闡述自供能微感測係統在諸多領域的潛在應用。
 
  第6章新興微感測係統應用展望。主要介紹新型功能材料在微感測係統中的應用,以及新興微感測係統在智慧工業、農業和軍事航空航天領域的諸多應用前景。
 
  本書第1章、第6章由劉會聰、馮躍、孫立寧教授共同編寫;第2章、第3章由馮躍編寫;第4章、第5章由劉會聰編寫。在此要衷心感謝為本書插圖和資料整理做瞭大量工作的研究生,他們是蘇州大學的夏月鼕、黃曼娟、耿江軍、房豔、韓玉傑、袁鑫;北京理工大學的韓炎暉、唐緒鬆、鐘科航、周子隆。本書在編寫過程中參閱瞭海內外同行的研究成果,在此嚮原著者謹緻謝意!
 
  由於作者水準、知識背景、研究方嚮限製,書中不足之處,懇請各位讀者、專傢不吝指。

用户评价

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閱讀一本技術書,我最在乎的是它的「前瞻性」。微感測技術發展速度非常快,前兩年還是主流的技術,現在可能已經被新的 MEMS 或奈米材料取代。所以,我希望《微感測係統與應用》在探討傳統技術的基礎之上,能適度地引進一些最新的研究方嚮,例如量子點感測器、或是基於AI的邊緣運算在感測數據處理中的應用。如果書中能用圖錶清晰地描繪齣未來的技術趨勢,甚至指齣目前產業鏈中主要的技術瓶頸在哪裡,那對於想在新領域創業或做深度研究的讀者來說,簡直是無價之寶。我不希望讀到的是五年前的技術百科,而是能引導我思考未來五年產業走嚮的指南。畢竟,在這個快速迭代的時代,掌握「下一波」是什麼,比精通「現在」的技術更重要。

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這本書的書名簡潔有力,但背後蘊含的技術深度不容小覷。以我過去接觸電子產品開發的經驗來看,微感測器模組的選型和資料擷取階段,往往是專案成敗的關鍵點。我特別好奇,作者在討論「係統」建構時,是偏嚮硬體層麵的PCB設計考量,還是更著重於軟體層麵的韌體開發與資料流管理?如果它能兼顧到兩者,甚至提供一些低功耗設計的策略,那絕對是現階段非常需要的內容。畢竟,現在的裝置越來越多需要電池供電,如何用最少的電力去維持感測器的穩定運作,同時又不犧牲數據採集的精度,這門學問非常精深。另外,針對颱灣常見的氣候條件,例如高濕度對某些光學或電化學感測器的影響,如果書中能提齣相應的對策或補償演算法,那這本書的在地化價值就非常高瞭。總之,我期待它能提供的是一套完整的設計思維,而不僅僅是零散的技術點子彙編。

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老實說,我對這類技術書籍的評價標準很嚴格,因為市麵上這方麵的書實在太多瞭,很多都隻是把一堆規格書的東西拼湊起來,讀起來非常枯燥乏味。我個人比較欣賞那些能用比較生活化、甚至是帶點幽默感的筆觸,來解釋複雜技術概念的作者。如果《微感測係統與應用》能做到這一點,那就太加分瞭。我希望它在介紹各種感測器的線性度、雜訊抑製這些硬核知識時,不會讓人讀到睡著。更重要的是,我很想知道它在係統整閤的部分處理得如何。畢竟,感測器本身很好選,但怎麼讓這些來自不同廠牌、不同協定的小東西,乖乖地整閤到一個穩定運行的係統裡,那纔是真正的挑戰。如果書中能提供一些「踩過哪些坑」的經驗分享,或者是一些常見的除錯技巧,那對我這種已經在業界打滾幾年的人來說,價值馬上就翻倍瞭。畢竟,理論誰都會,但實戰的眉角纔是真本事。

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說實話,我對學術性的書籍通常會抱持著一份敬畏,但同時也會有點擔心它是否過於「學院派」。對於非理工背景,但負責採購或專案管理的朋友來說,他們需要的可能是一種能夠快速建立整體架構概念的入門橋樑。我希望這本《微感測係統與應用》在介紹完底層的感測原理後,能夠更著重於如何從「使用者的需求」齣發,反推迴來選擇最適閤的感測器組閤與係統架構。例如,如果目標是要建立一個高精度的環境監測站,應該在哪幾個參數上投入更多的預算與資源?如果考量到成本效益,哪些次要的數據可以被犧牲或簡化?這種從商業與使用者角度齣發的決策分析,往往是教科書比較缺乏的。如果這本書能提供一些實際的規格比較錶,以及不同應用場景下的最佳實踐範例,那它就成功地從一本技術手冊,昇華為一份實用的商業決策輔助工具瞭。

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哇,看到這本書的名字《微感測係統與應用》,就讓我想起以前大學時期修那門課的時光,雖然這本書可能講的跟我的課本不太一樣,但光是標題就讓人聯想到那些複雜的電路圖、各種感測器的原理,還有程式碼寫到半夜的畫麵。我猜這本書內容肯定會很紮實,對於想深入瞭解物聯網(IoT)基礎技術的人來說,應該是本不錯的參考書。畢竟現在大傢都在談智慧傢庭、智慧城市,背後最核心的就是這些微感測技術,從溫濕度、光線、壓力到各種氣體感測,如何把它們串起來,讓數據可以被有效利用,這本書如果能把這些實作的細節講清楚,那就太棒瞭。特別是「應用」這兩個字,讓人期待它不隻是純理論的堆砌,而是能結閤實際案例,像是農業上的土壤濕度監測,或是工業上的設備預警係統,光是想像那個畫麵,就覺得這本書的實用性應該很高。希望它對那些剛接觸電子工程或資訊科技的年輕學子來說,是一扇通往實務世界的大門,而不是隻停留在紙上談兵的階段。

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