圖書描述
半導體製程已進入奈米綫幅，而廣義微影技術為半導體製程之核心，惜國內尚無中文微影技術專書，因此決定教研之餘撰寫本書，以彌補此缺憾與空白，並為推動科技中文化，略盡個人棉薄。
本書重點在微影技術原理與概念之說明，而不在生産綫上實務細節之描述。內容包括微影技術全部重要內涵，例如微影製程、微影光學、主要微影方法、其他微影方法、圖罩與圖規、阻劑、解像度增進技術、銅互連綫、化學機械研磨、電漿蝕刻與光學微影模擬。基於多年在交通大學應用化學研究所之教學經驗，本書亦包含瞭解微影技術必要之矽製程背景知識與基礎光學。
末來數年，半導體量産綫幅當推進至45-32-22奈米技術節點，光學微影製程之難度日益增加，對製程工程師之挑戰亦日益升高。本書對相關領域讀者應有所助益與參閱價值。
作者簡介
龍文安
現職
國立交通大學應用化學係暨研究所教授
學曆
美國杜蘭大學化學博士
著者信息
圖書目錄
第一章 背景知識
第二章 微影緒論
第三章 微影製程概述
第四章 基礎光學
第五章 微影光學
第六章 主要微影方法
第七章 其他微影方法
第八章 圖罩與圖規
第九章 阻劑化學
第十章 解像度增進技術
第十一章 銅互連綫
第十二章 化學機械研磨
第十三章 電漿蝕刻
第十四章 微影模擬
圖書序言
圖書試讀
用户评价
這本《半導體奈米技術(精)》對我來說，簡直是一本開啟新世界大門的鑰匙。我一直以來都對理工科的東西有著莫名的嚮往，尤其是那種看起來高深莫測，但卻又深刻影響我們生活的科技。半導體，這個詞常常在新聞中聽見，但具體是什麼、怎麼運作，我一直都處於一個模糊的概念。拿到這本書，我原本以為會是一本艱澀難懂的教科書，但讀瞭之後纔發現，它用一種非常引人入勝的方式，將複雜的科學原理層層剖析。書裡從基礎的半導體物理開始講起，解釋瞭為什麼矽可以成為半導體，以及各種摻雜技術如何改變它的導電性。接著，就進入瞭「奈米技術」的核心，介紹瞭各種奈米級的結構，像是奈米線、量子點等等，以及它們在電子元件中的應用。我尤其著迷於書中關於「邏輯閘」的介紹，理解瞭這些微小的開關如何組閤，構成瞭我們今天使用的所有數位設備，這真是太神奇瞭！更讓我驚喜的是，書裡還觸及瞭奈米技術在儲能、感測等領域的潛力，讓我看到瞭半導體產業的多元發展。這本書不隻讓我瞭解瞭技術，更激發瞭我對科學探索的熱情，讓我對未來的科技發展充滿瞭期待。
评分老實說，我買這本《半導體奈米技術(精)》純粹是齣於一份好奇心，加上我對一些科普讀物一直抱有好感，總覺得能從中學到不少知識。這次選擇這本書，主要是因為「奈米技術」這個詞彙聽起來很有未來感，而且我對半導體產業的印象，大概就停留在以前聽過的「颱積電」和「晶圓代工」這幾個關鍵字。然而，當我真正開始閱讀後，纔發現書中所涵蓋的知識範圍遠遠超齣瞭我的預期。它不僅僅是介紹奈米技術本身，更深入地探討瞭半導體材料的物理和化學特性，以及這些特性如何被微調以滿足現代科技的需求。書中對於量子穿隧效應、錶麵電漿共振等概念的闡述，雖然初讀時有些吃力，但輔以豐富的插圖和清晰的解釋，漸漸地讓我領略到微觀世界的奧妙。尤其令我印象深刻的是，書裡比較瞭不同世代的半導體製程，從早期的光刻技術到現在的極紫外光（EUV）技術，讓我看到瞭科技進步的軌跡，以及為瞭製造更小的元件所付齣的巨大努力。這本書不僅讓我瞭解瞭半導體奈米技術的「是什麼」，更讓我思考瞭「為什麼」和「如何」，它引導我去思考未來的發展方嚮，以及科技如何不斷突破極限。
评分我平常的工作和科技業有一點點關係，但說實在的，很多時候對於「技術」的理解都是比較錶麵的。這次會注意到《半導體奈米技術(精)》這本書，主要是因為最近在公司內部的一些討論中，頻繁聽到「奈米製程」、「先進製程」這些詞彙，感覺不瞭解一下不行。我買這本書，是抱持著一種「先求有，再求精」的心態，希望能夠對這個領域有個基本的認識。讓我意外的是，這本書的內容非常紮實，而且對於「奈米技術」的闡述相當細膩。書裡不僅僅是簡單地介紹瞭奈米尺寸的特性，還深入探討瞭如何透過精密的製造工藝來實現這些奈米級的結構。例如，書中對於光刻技術的演進，從傳統的光學光刻到極紫外光（EUV）光刻的介紹，就讓我瞭解到為瞭達到更高的解析度，科學傢和工程師們付齣瞭多少心血。我特別注意到書裡關於「缺陷控製」的部分，這對半導體製程來說是至關重要的，即使是微小的缺陷，都可能影響到晶片的性能。這本書讓我明白，所謂的「先進製程」，背後是無數次的實驗、優化和對精度的極緻追求。它讓我對這個產業有瞭更深一層的尊重，也讓我對颱灣在半導體領域的領先地位有瞭更清晰的認識。
评分其實我對半導體這種高科技領域一嚮有點距離感，總覺得那是專業人士纔能深入探討的範疇。這次會拿起《半導體奈米技術(精)》這本書，純粹是齣於一種「拓展閱讀視野」的念頭，想說偶爾挑戰一下自己，看看能不能讀懂一些比較「硬」的內容。沒想到，這本書真的顛覆瞭我對科技書籍的刻闆印象。它從最基礎的概念講起，例如半導體的材料科學，解釋瞭為什麼某些材料的導電性會隨著溫度或外加電場而改變。然後，它很巧妙地將「奈米技術」融入其中，讓我瞭解到原來在奈米尺度下，材料的物理性質會產生一些奇妙的變化，這也為設計齣更小型、更高效能的電子元件提供瞭可能。書裡舉瞭很多具體的例子，像是利用量子效應來製造更靈敏的感測器，或者開發更具儲存密度的記憶體。我印象最深刻的是，書裡並沒有迴避複雜的物理概念，而是用一種比較平易近人的方式來解釋，甚至搭配瞭一些生動的比喻，讓我在閱讀過程中不會感到太過枯燥。這本書讓我明白，原來科學的進步，往往是從對微觀世界的細緻觀察和實驗中誕生的，而「奈米技術」正是這股力量的具體展現。它讓我在驚嘆科技發展的同時，也對科學研究本身產生瞭濃厚的興趣。
评分這本《半導體奈米技術(精)》真的是讓我大開眼界！我平常對科技產品算是蠻有興趣的，尤其是手機、電腦裡麵的那些看不見的微小零件，但一直以來都隻是停留在「好厲害」的程度，從來沒有機會深入瞭解背後的原理。這次偶然看到這本書，書名裡的「奈米技術」聽起來就很有學問，想說買來讀讀看，說不定能對我每天使用的科技產品有更深的認識。翻開書，一開始就被裡麵的圖解吸引住瞭，各種複雜的結構被畫得非常清晰，即使是像我這樣沒有電子工程背景的人，也能大概理解那種微觀世界的奇妙。書裡麵介紹瞭半導體材料的特性，還有如何利用奈米技術來製造齣更小、更有效率的晶片，這部分真的很震撼，想像一下，我們現在使用的晶片，上麵的電路已經小到幾奈米，那是在什麼樣的尺度下進行的啊？而且，書裡還提到瞭奈米技術在其他領域的應用，不隻是電子產品，像是醫療、能源等等，都展現瞭無限的可能性。我特別喜歡書裡對於「摩爾定律」的討論，雖然現在麵臨一些瓶頸，但奈米技術的發展卻為突破這些瓶頸帶來瞭新的希望。總之，這本書讓我對半導體產業有瞭全新的視角，不再隻是冰冷的零件，而是充滿著科學傢們的智慧和努力。
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