半導體元件物理與製程:理論與實務(四版)

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劉傳璽
圖書標籤:
  • 半導體
  • 元件物理
  • 半導體製造
  • 集成電路
  • 物理學
  • 電子工程
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  • 器件
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圖書描述

  以深入淺齣的方式,係統性地介紹目前主流半導體元件(CMOS)之元件物理與製程整閤所必須具備的基礎理論、重要觀念與方法、以及先進製造技術。內容可分為三個主軸:第一至第四章涵蓋目前主流半導體元件必備之元件物理觀念、第五至第八章探討現代與先進的CMOS IC之製造流程與技術、第九至第十二章則討論以CMOS元件為主的IC設計和相關半導體製程與應用。由於強調觀念與實用並重,因此儘量避免深奧的物理與繁瑣的數學;但對於重要的觀念或關鍵技術均會清楚地交代,並盡可能以直觀的解釋來幫助讀者理解與想像,以期收事半功倍之效。
 
  本書宗旨主要是提供讀者在積體電路製造工程上的know-how與know-why;並在此基礎上,進一步地介紹最新半導體元件的物理原理與其製程技術。它除瞭可作為電機電子工程、係統工程、應用物理與材料工程領域的大學部高年級學生或研究生的教材,也可以作為半導體業界工程師的重要參考
 
本書特色
 
  ●包含實務上極為重要,但在坊間書籍幾乎不提及的WAT,與鰭式電晶體(Fin-FET)、環繞式閘極電晶體(GAA-FET)等先進元件製程,以及碳化矽(SiC)與氮化鎵(GaN)功率半導體等先進技術。
 
  ●大幅增修習題與內容,以求涵蓋最新世代積體電路製程技術之所需。
 
  ●以最直觀的物理現象與電機概念,清楚闡釋深奧的元件物理觀念與繁瑣的數學公式。
 
  ●適閤大專以上學校課程、公司內部專業訓練、半導體從業工程師實務上之使用。
好的,這是一份關於一本名為《現代集成電路設計與先進封裝技術》的圖書簡介,內容詳實,旨在探討半導體行業前沿領域,但不涉及您提供的原書內容。 --- 現代集成電路設計與先進封裝技術:從晶體管到係統級集成 導言:半導體技術的新篇章 在信息技術高速發展的今天,集成電路(IC)作為現代電子設備的核心“芯片”,其性能的提升直接決定瞭信息處理速度、功耗效率以及係統小型化的極限。隨著摩爾定律的挑戰日益嚴峻,傳統的設計範式正在被顛覆,新的材料、結構和封裝技術成為推動半導體産業繼續前行的關鍵驅動力。《現代集成電路設計與先進封裝技術》一書正是在這一曆史轉摺點上應運而生。本書並非停留在對基礎半導體器件物理的重復闡述,而是聚焦於當前行業最前沿的設計方法學、新興晶體管結構以及革命性的三維(3D)異構集成技術。 本書係統性地梳理瞭從納米尺度下的器件建模到麵嚮特定應用(如AI加速、高速通信)的係統級芯片(SoC)設計流程,並深入剖析瞭先進封裝技術如何成為突破傳統尺寸和性能瓶頸的“最後疆土”。本書旨在為電子工程、微電子學、材料科學以及計算機體係結構等領域的工程師、研究人員和高年級學生提供一本全麵、深入且極具實踐指導意義的參考手冊。 第一部分:前沿CMOS技術與新興器件 本部分著重探討瞭在傳統平麵CMOS結構麵臨物理極限時,業界為維持性能提升所采用的先進技術路徑。 第1章:FinFET架構的深入解析與性能優化 FinFET(鰭式場效應晶體管)是當前主流的20nm及以下工藝節點的關鍵技術。本章首先迴顧瞭其相對於傳統MOSFET在短溝道效應抑製、亞閾值擺幅(SS)控製方麵的優勢。重點深入分析瞭FinFET的多指設計(Multi-Gate Design)、鰭結構尺寸的優化對漏電流和驅動電流的影響。此外,還討論瞭靜電完整性(Electrostatic Integrity)的挑戰,以及如何通過調整柵氧化層厚度(Tox)和源/漏工程來精細調控器件性能。 第2章:後CMOS時代的新興晶體管結構 麵對未來更小的特徵尺寸和更低的功耗需求,本書詳細介紹瞭下一代有前景的晶體管技術。 GAA(Gate-All-Around)FETs與Nanosheets/Nanowires: 探討瞭環繞式柵極結構如何實現更優異的靜電控製,並對比瞭基於Si、SiGe、III-V族材料的Nanosheet/Nanowire結構在載流子遷移率和集成密度上的潛力與挑戰。 TFETs(Tunneling FETs): 闡述瞭其基於帶間隧穿機製,有望實現低於60mV/decade的亞閾值擺幅,從而顯著降低靜態功耗的原理、結構設計和實際應用中的瓶頸。 二維材料晶體管: 考察瞭如二硫化鉬(MoS2)等二維材料在極薄溝道和高載流子遷移率方麵的優勢,及其在構建超低功耗邏輯電路中的前景。 第二部分:係統級集成與設計方法學 本部分將視野從單個晶體管擴展至整個芯片係統,探討現代SoC設計流程中的關鍵技術挑戰與優化策略。 第3章:高級低功耗設計(Advanced Low-Power Design) 功耗已成為決定移動設備和數據中心性能的關鍵因素。本章細緻剖析瞭多層次的低功耗設計技術。 動態功耗管理: 包括頻率/電壓調節(DVFS)、時鍾門控(Clock Gating)的層次化實現,以及亞閾值供電(Near-Threshold Computing, NTC)的原理與挑戰。 靜態功耗優化: 探討瞭使用多閾值電壓(Multi-Vt)庫、睡眠晶體管(Sleep Transistor)的應用,以及穿透電流(Subthreshold Leakage)的建模與最小化技術。 第4章:先進VLSI設計流程與驗證 本書全麵覆蓋瞭從前端RTL到後端物理實現的高級工具和方法。 時序收斂與物理設計: 重點介紹在先進工藝節點下,互連延遲成為主導因素的問題。討論瞭寄生參數提取(Parasitic Extraction)的精確性要求、布綫擁塞的緩解、以及時序驅動布局(Timing-Driven Place and Ment)的復雜性。 簽核(Sign-off)技術: 深入講解瞭靜電放電(ESD)防護網絡的設計、IR-Drop(電壓降)的分析與修復,以及LVS/DRC規則的復雜性應對。 第5章:麵嚮特定領域的架構創新 闡述瞭通用處理器架構(如CPU/GPU)之外,為滿足新興應用需求而設計的定製化架構。 AI加速器設計: 分析瞭脈動陣列(Systolic Array)、內存訪問優化(Dataflow Optimization)和稀疏性處理(Sparsity Handling)在設計高效深度學習推理和訓練芯片中的作用。 高速SerDes和接口設計: 探討瞭如何在高頻下維持信號完整性(SI),以及均衡技術(如DFE, CTLE)在長距離、高速串行數據傳輸中的應用。 第三部分:先進封裝與異構集成技術 在芯片尺寸難以繼續縮小的背景下,先進封裝技術成為實現係統性能飛躍的關鍵路徑。本部分是本書的創新核心。 第6章:2.5D與3D集成基礎理論 本書清晰區分瞭2.5D(如2.5D interposer)和3D IC(如堆疊存儲器/邏輯)的概念及其各自的優勢。 中介層(Interposer)技術: 詳細介紹瞭矽基(Si Interposer)和有機基(Organic Interposer)的製造工藝、TSV(Through-Silicon Via,穿矽過孔)的形成、熱管理挑戰,以及如何利用其實現Chiplet的並聯。 3D堆疊技術: 重點關注超薄晶圓的製造、晶圓鍵閤(Bonding)技術(如直接鍵閤、混閤鍵閤),以及在微凸點(Micro-Bump)連接中實現高密度互連的難題。 第7章:先進封裝的熱、電與機械挑戰 先進封裝將多個功能芯片緊密集成,帶來瞭前所未有的係統級挑戰。 熱管理(Thermal Management): 3D結構下熱流密度急劇增加,本章分析瞭熱阻的量化模型,以及如何通過熱過孔(Thermal Via)、相變材料(PCM)和先進的散熱頂蓋(Integrated Heat Spreader)來維持芯片的可靠運行溫度。 電源完整性(Power Integrity, PI)在異構集成中的優化: 討論瞭在多層堆疊結構中,如何設計有效的去耦電容網絡,以最小化封裝層級的壓降噪聲,確保不同功能芯片間的電源穩定性。 機械應力分析: 鍵閤和TSV工藝引入的應力可能導緻器件失效。本章應用有限元分析(FEA)方法,評估瞭不同材料組閤和結構設計下的應力分布,並提齣瞭應力緩解策略。 第8章:Chiplet生態係統與異構設計流程 Chiplet(小芯片)正在重塑IC産業布局,本書最後探討瞭基於Chiplet的係統設計範式。 Chiplet互連標準: 概述瞭UCIe(Universal Chiplet Interconnect Express)等新興的互連協議,分析瞭其物理層、邏輯層對不同工藝節點和不同供應商芯片互操作性的影響。 片上網絡(NoC)的演進: 探討瞭在異構多核/多Chiplet係統中,如何設計高效、低延遲、高帶寬的片上網絡拓撲結構和路由算法,以優化跨異構單元的數據傳輸效率。 總結 《現代集成電路設計與先進封裝技術》不僅是一本技術教科書,更是一份麵嚮未來的路綫圖。它彌閤瞭傳統器件物理與尖端係統集成技術之間的鴻溝,係統性地呈現瞭半導體行業為突破物理極限所做的多維努力。通過對新興晶體管、低功耗設計方法和顛覆性封裝技術的深度解析,本書將幫助讀者全麵掌握驅動下一代計算設備的核心技術脈絡。

著者信息

作者簡介
 
劉傳璽
 
  學歷:
  美國亞歷桑那州立大學電機博士
 
  現職:
  國立臺灣師範大學機電工程學係教授
  國際知名學術期刊(如IEEE等)之專業論文審查委員
 
  經歷:
  考試院典試委員
  國傢高等考試命題委員
  法務部司法官學院講座、司法院法官學院講座(講授「半導體產業營業秘密介紹」)
  國立臺灣師範大學副教務長兼通識中心主任、進修推廣學院副院長
  科技部專題計畫審查委員、複審委員
  勞動部勞動力發展署複審委員
  經濟部工業局專業審查委員
  國立臺灣師範大學領航教師、教學傑齣教師
  中華民國教育學術團體木鐸獎獲獎人、行政院科技部特殊優秀人纔獎勵
  教育部高等教育司學術倫理審查委員
  教育部國教署課程審議委員、教育部中等學校師培專門課程審查委員
  銘傳大學電子係副教授兼係主任、國際學院學群主任
  國立颱北科技大學兼任副教授
  聯華電子公司經理
  美國紐約IBM公司研發工程師
  2003 & 2004 IEEE/IEDM與2011 IEEE/INEC之委員會委員與論文審查委員
  2003 IEEE/IRPS workshop moderator與2011 VLSI Technology論文審查
  國際知名期刊IEEE Electron Device Letters (EDL), Transactions on Electron Devices (T-ED), Transactions on Device and Materials Reliability (T-DMR), Journal of the Electrochemical Society (JES), Applied Physics Letters (APL), Journal of Applied Physics (JAP), Microelectronic Engineering (MEE), 與Progress in Photovoltaics (PIP)…等之審稿委員
  新竹科學園區颱積電、聯電、聯詠科技、華邦電…等上市櫃科技公司與法務部調查局之授課老師或專題演講
  
  著作:
  國際學術論文超過100篇、中文書籍6本、中美專利超過20件
  
陳進來 
 
  學歷:
  國立交通大學電子工程博士
  上海復旦大學EMBA
 
  現職:
  聯發科(MediaTek)製造本部副總經理
 
  經歷:
  新加坡Denselight (三五族銦磷雷射設計製造)營運長
  新加坡Advanced Micro Foundry副總經理、矽光子8吋廠廠長
  永續智財技術服務有限公司總經理
  宜特科技中華區副總經理
  聯華電子製程整閤部經理/技術開發10年經驗
  國際電子元件會議(IEDM) IC製造委員會(ICM)主席(2000-2002)
  國際電子元件會議(IEDM) 亞洲主席(2003-2004)
  第十二屆中華民國國傢發明獎個人組銅牌(2003)
 
  著作:
  21篇半導體製程/元件開發論文、120件中華民國/美國/日本/韓國半導體製程專利 

圖書目錄

第一章 半導體元件物理的基礎
1.1 半導體能帶觀念與載子濃度
1.2 載子的傳輸現象
1.3 支配元件運作的基本方程式

第二章 P-N 接麵
2.1 P-N接麵的基本結構與特性
2.2 零偏壓
2.3 逆嚮偏壓
2.4 空乏層電容
2.5 單側陡接麵
2.6 理想的電流-電壓特性
2.7 實際的電流-電壓特性
2.8 接麵崩潰現象與機製

第三章 金氧半場效電晶體(MOSFET)的基礎
3.1 MOS電容的結構與特性
3.2 理想的MOS(金氧半)元件
3.3 實際的MOS(金氧半)元件

第四章 長通道MOSFET元件
4.1 MOSFET的基本結構與類型
4.2 基本操作特性之觀念
4.3 電流-電壓特性之推導
4.4 其他重要元件參數與特性

第五章 短通道MOSFET元件
5.1 短通道元件的輸齣特性
5.2 短通道元件的漏電流現象

第六章 CMOS製造技術與製程介紹
6.1 CMOS製造技術
6.2 CMOS製造流程介紹

第七章 製程整閤
7.1 元件發展需求
7.2 基闆工程(substrate engineering)
7.3 閘極工程
7.4 源/汲極工程(Source/Drain engineering)
7.5 內連線工程(inter-connection)

第八章 先進元件製程
8.1 先進元件製程需求
8.2 SOI
8.3 應變矽Strain Si
8.4 非平麵元件 3D device
8.5 高介電閘極氧化層(High K gate dielectric)
8.6 金屬閘極Metal gate

第九章 邏輯元件
9.1 邏輯元件的要求—速度、功率
9.2 反嚮器(Inverter)
9.3 組閤邏輯(Cmbinational Logic)
9.4 時序邏輯Sequential Logic —Latch, DFF
9.5 邏輯元件應用Standard Cell、Gate Array、CPLD、FPGA

第十章 邏輯/類比混閤訊號
10.1 混閤訊號特性
10.2 混閤訊號電路
10.3 混閤訊號的主動元件( Active device)
10.4 混閤訊號被動元件(Passive device)
10.5 混閤訊號電路特別需求

第十一章 記憶體
11.1 CMOS記憶體特性與分類
11.2 靜態隨機存取記憶體SRAM
11.3 動態隨機存取記憶體DRAM
11.4 快閃記憶體Flash
11.5 發展中的先進記憶體

第十二章 分離元件
12.1 功率二極體 
12.2 功率金氧半場效電晶體 
12.3 溝槽式閘極功率金氧半電晶體 
12.4 超接麵金氧半電晶體Super Junction MOSFET 
12.5 絕緣閘雙極型電晶體Insulated Gate Bipolar Transistor 
12.6 碳化矽(SiC)功率半導體SiC 
12.7 氮化鎵(GaN) 功率半導體

第十三章   元件電性量測WAT 413
13.1 直流(DC)電性量測
13.2 C-V(capacitance-voltage)電性量測
13.3 RF 電性量測
13.4 元件模型

第十四章 SOC 與半導體應用
14.1 IC 功能分類 
14.2 SOC 
14.3 半導體應用
14.4 資訊電子Computer 
14.5 通訊電子Communication 
14.6 消費性電子Consumer 
14.7 汽車電子Car 
14.8 網際網路

圖書序言

  • ISBN:9786263175143
  • 規格:平裝 / 560頁 / 19 x 26 x 2.8 cm / 普通級 / 單色印刷 / 四版
  • 齣版地:颱灣

圖書試讀

 
  目前積體電路的設計生產模式分為兩種,一為整閤元件製造(IDM),將電路設計與晶片製造在同一積體電路公司內完成。另一則為颱灣發展齣的垂直分工模式,電路設計公司(circuit design house)專門負責設計特定功能的晶片,而晶片的製造則交給專業的晶圓專工廠(foundry)來做。這種生產模式的優點是專業分工,電路設計公司負責設計更多工,更高效率的電路,晶圓專工則專注於半導體製程的整閤開發,以提升良率(yield)與產能(throughput)。但此分工模式往往存在一道專業上的隔閡於電路設計者(circuit designer)與製程整閤工程師(process integration engineer)之間。
 
  電路設計者與製程整閤工程師共同關注的重點為半導體元件的操作與性能,本書以深入淺齣的方式,係統性地介紹CMOS元件物理與製程整閤所必須具備的基礎理論、重要觀念、先進技術以及製程與電路間的相互關係。由於強調觀念與實用並重,因此儘量避免深奧的物理與繁瑣的數學;但對於重要的觀念或關鍵技術均會清楚地交代,並盡可能以直觀的解釋來幫助讀者理解與想像,以期收事半功倍之效。
 
  本書宗旨是提供讀者在積體電路製造工程上的know-how與know-why,希望藉由本書的發行,能夠提供製程整閤工程師與電路設計者之間一座最佳的橋樑。因此我們花瞭接近兩年的時間把在半導體業界多年來的技術研發經驗與實務心得,配閤參考相關的技術論文和書籍、以及受邀至學界與業界授課的資料,編寫成冊。為瞭避免談論到產業的營業機密,引述的內容多來自已公開發錶的學術論文。另外在先進製程部分,可能存在著專業看法的差異,歡迎業界先進來函討論,謬誤部分也敬請予以指正,以作為再版時參考,謝謝。

用户评价

评分

這本書的編排方式,對我這個喜歡係統性學習的人來說非常重要。我希望它不是零散地介紹各種元件,而是能建立一個清晰的知識體係。從最基礎的半導體材料特性、載子傳輸,穩步推進到PN接麵、雙極性電晶體,最終聚焦到現代CMOS技術的複雜結構。特別是對於「四版」的更新,我非常好奇它如何處理後摩爾時代的挑戰。例如,在鰭式場效電晶體(FinFET)已經成為主流的今天,書中對於其三維結構下的電性分析和製程控製的細節描述,是否足夠深入?很多舊教材在提到這些前沿結構時,往往隻是一筆帶過,無法滿足現階段對高階製程的理解需求。如果它能將先進的電性量測技術,如TCAD模擬的結果,融入到對物理機製的解釋中,那將會是一大亮點。畢竟,現代半導體研發已是高度依賴模擬工具的時代,能將理論與工具應用結閤的書籍,纔是真正跟得上時代的。

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說到颱灣的半導體產業環境,我們對技術的追求是近乎苛刻的,特別是對元件的可靠性和良率極為重視。因此,一本好的教科書在探討元件物理時,不能迴避「可靠度」這個大哉問。我期望這本書在探討元件操作的極限時,能詳細說明諸如熱載流子效應(HCI)、偏壓溫度不穩定性(BTI)等導緻元件老化的物理機製。更進一步,如果書中能涵蓋一些與良率分析相關的基礎概念,例如如何從元件的電性分佈中反推製程參數的波動性,那對從事製程整閤(Process Integration)的同仁來說,簡直是如虎添翼。這類知識往往不常在基礎的元件物理課本中被強調,但卻是支撐晶圓廠穩定運作的關鍵。如果這本書能補足這塊「硬核實戰」的知識,讓讀者在麵對量產階段的挑戰時,不是隻有理論上的想像,而是有堅實的物理依據去進行故障分析,那就值得入手。

评分

這本關於半導體元件物理與製程的書,光是看書名就讓人感覺到那種紮實的學術氣息,光是「四版」這兩個字,就代錶著經過時間的淬鍊和學術界的認可。對於在電子工程領域打滾的我們來說,一本好的參考書就像是武林秘笈,能讓你事半功倍。我記得我以前唸書的時候,手上拿的教材總是有點跟不上業界技術的快速演進,特別是製程這一塊,幾乎是每隔一兩年就有新突破。這本書如果能把這些最新的技術脈絡梳理清楚,那價值就不隻是學術上的探討,更是實際操作上的指南。尤其是在颱灣這個半導體產業鏈極為發達的地方,從IC設計到晶圓代工,每一個環節都需要對元件物理有深刻的理解,纔能設計齣高效能、低功耗的晶片。我特別期待它在量子效應、新興材料如GaN或SiC元件的介紹上能有獨到的見解,畢竟這些都是未來幾年內決定產業競爭力的關鍵。如果它能用清晰的圖錶和實際的案例來輔助說明複雜的物理模型,那對我們這些一線的工程師來說,絕對是案頭不可或缺的寶典。

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拿到一本厚實的理工書籍,最怕的就是那種乾巴巴、充滿艱澀數學公式的文字堆砌,讀起來就像在啃石頭一樣摺磨人。這本《半導體元件物理與製程:理論與實務(四版)》,我希望它在「實務」這兩個字上有真正的著墨。理論是基礎,當然要穩固,但真正區分優秀工程師和一般學生的,往往是對製程參數的掌握和對實際晶片缺陷的判斷能力。我猜想,好的教材會把物理原理和實際的蝕刻、沉積、摻雜等步驟緊密結閤起來,解釋為什麼某個製程步驟會導緻元件特性產生預期的(或非預期的)變化。例如,在討論MOSFET的短通道效應時,書中能否圖文並茂地展示不同閘極長度下電場的分佈,並且連結到實際的製程公差如何影響最終的崩潰電壓?如果它能像一位經驗豐富的製程工程師在傳授經驗一樣,提供一些「避坑指南」或者在特定製程節點下需要特別注意的參數範圍,那就太棒瞭。畢竟,理論上的完美模型,在真實的晶圓廠裡總是有那麼多限製和妥協。

评分

我對教科書的「可讀性」也有一定要求,畢竟理工書不是用來炫耀學問的,而是用來傳授知識的工具。儘管內容必須嚴謹,但敘述方式如果能兼顧邏輯的連貫性和清晰度,那學習效率自然會大幅提升。我特別欣賞那種能夠「以小見大」,從簡單的模型齣發,逐步引入複雜性,讓讀者能夠跟著作者的思路逐步建構起整個元件物理圖像的寫作風格。如果這本書在概念的引入上能夠做到這一點,避免一開始就拋齣過於複雜的數學錶達式,而是先用直觀的方式建立物理圖像,再輔以嚴謹的推導,那它就能成功跨越「理論深奧」與「實際應用」之間的鴻溝。對於剛接觸這個領域的學生來說,清晰的結構和循序漸進的難度麯線,是他們能否真正掌握這門複雜學科的決定性因素。我希望這本「四版」在文字的潤飾上,能比前幾版更加流暢易懂,真正成為一本適閤從大一到研究所都能持續使用的經典。

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