超精密加工技術

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圖書描述

　　「超精密加工」是為了追求更精密的精度，在新製品中以特定元件的專用工作機械，來集合技術精華而開發出來的。

　　本書內容涵蓋現今所有高科技領域，包含超精密加工機械、切削、研磨、拋光、微影成像、蝕刻技術及高精密透鏡等。

　　為目前政府推動高科技尖端工業不可或缺的工具書。本書適合機械科系之大專院校、研究所及相關產業之從業人員使用。

著者信息

圖書目錄

　　ch01 超精密加工的必要性

1-1 前言

1-2 奈米技術

1-3 超精密加工的用途

1-4 超精密工法

　　ch02 超精密加工機械

2-1 前言

2-2 超精密加工之設計

2-3 迴轉要素

2-4 直線運動要素

2-5 定位控制

2-6 機體構造

2-7 環境

　　ch03 超精密切削

3-1前言

3-2 超精密切削面的形狀

3-3 切削工具

3-4 利用單精鑽石

3-5 鐵系材料切削

3-6 超精密鑽石切削的應用例

3-7 大輸出CO2雷射用反射透鏡

3-8 具微細溝槽的柵狀透鏡

3-9 結語

　　ch04 超精密研磨

4-1 特殊半導體基板的高精度研磨法

4-2 精密陶瓷之鏡面研磨ch05 超精密拋光

5-1 前言

5-2 拋光加工的力學作用

5-3 拋光加工的化學作用

5-4 乾式超精密拋光

5-5 結語

　　ch06 微影成像及蝕刻

6-1 微影成像

6-2 蝕刻技術

　　ch07 高精度塑膠透鏡

7-1 前言

7-2 高精度塑膠製品的現狀

7-3 高精度塑膠透鏡的要素技術

7-4 高精度塑膠透鏡的品質管制

7-5 高精度塑膠透鏡的未來展望

圖書序言

圖書試讀

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